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200W 等離子射頻模塊PE-200W
500W 等離子射頻模塊PE-500W
1200℃ 三溫區PECVD等離子體化學氣相 沉積系統 OP-1200-TS3-Z4D-PE
1200℃ PECVD等離子體化學氣相 沉積系統 OP-1200-TS-Z4D-PE
PECVD系統(集成氣化裝置)
1500C 500W 高溫等離子體化學 氣相沉積系統OP-1500-TZ3D-PE