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500W 等離子射頻模塊PE-500W
該射頻電源匹配器小巧、輕便，擁有空冷式設計。高質量的組件和較少的零件數量使可靠性和產品使用壽命均得以提升，從而使您的投資和制程生產力得到有效的利用。一個直觀、快捷的操作菜單（可在該組件的多功能前面板上切換，并顯示在一個128*64像素的液晶顯示屏上）帶來了無比的便利性——提高了操作人員的效率，并使培訓成本很低。此款設備配置13.56MHz的射頻輸出，可匹配普通型管式爐做等離子體增強型化學氣相沉積（PECVD）使用，是實驗室做PECVD鍍膜的理想選擇。
技術資料
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設備特點 | 此設備功率可以預設設置，實現一鍵啟動,自動匹配。 實際功率相對于設定值不會過沖，而且匹配后功率穩定 |
基本參數 | 輸入電壓：AC220V，50/60Hz 輸出功率：2W~500W ，連續可調，穩定性：± 1% 反射功率：70W 匹配：自動匹配，空氣電容 直流電源工作氣壓范圍：0~100Pa 冷卻: 強制空氣冷卻 線圈直接：Φ110*180 |
尺寸 | 570mm *570mm *540mm |
保護功能 | DC過流保護，功放過溫保護，反射功率保護 |
重量 | 13Kg |
質保期 | 一年質保期，終身維護 |
