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CVD系統集成式
1200℃單溫區雙通道混氣低真空 CVD系統OP-1200-TZ2D(一體機)
1200℃單溫區雙通道混氣高真空 CVD系統OP-1200-TZ2G(一體 機)
1200℃雙溫區雙通道混氣低真空 CVD系統OP-1200-T2Z2D(一體 機)
1200℃雙溫區雙通道混氣高真空 CVD系統OP-1200-T2Z2G(一體 機)
1200℃五溫區四通道混氣低真空 CVD系統 OP-1200-T5F4D(一體 機)
1200℃五溫區雙通道混氣高真空 CVD系統 OP-1200-T5Z2G(一 體機)
1500℃ 單溫區雙通道混氣低真空 CVD系統TP-1500-TZ2D(一體 機)
1500℃雙溫區雙通道混氣低真空 CVD系統TP-1500-T2Z2D(一體 機)
1500℃三溫區雙通道混氣低真空 CVD系統TP-1500-T3Z2D(一體 機)
1700℃單溫區雙通道混氣低真空 CVD系統TP-1700-TZ2D(一體機)
1700℃三溫區雙通道混氣低真空 CVD系統TP-1700-T3Z2D(一體機)