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單通道質量流量供氣系統 PR-1ZP

PR-1ZP氣體質量流量計適用于低壓小流量、單種氣體的連續供氣。氣體壓力和流量數據在控制面板上直觀可讀,操作簡便,流量控制精確,可有效地控制氣體消耗。可以跟管式爐等設備配合使用,做CVD、氣氛燒結等研究實驗。


技術資料

相關產品

設備特點

1. 外形美觀,實用性強,操作簡便;

2. 采用耐腐拋光不銹鋼管,或耐腐聚四氟乙烯管;

3. 可靠的混氣裝置,可保證氣體混合的均勻性;

4. 均采用標準尺寸接頭,確保其通用性;

5. 多路氣體混合可咨詢溝通定制;

產品

通道

工作溫度

5-45℃

壓差范圍

0.05-0.4MPa

精度

±1% FS

重復精度

±0.2% FS

流量范圍

50、100、200、500Sccm可供客戶選擇

流量計類型

進口品牌質量流量器

接口尺寸

Φ6.35mm雙卡套接頭

連接管道

采用潔凈拋光的氣路專用耐腐不銹鋼管或耐腐蝕抗老化的聚四氟乙烯氣管(可選)

凈重

5KG