瀏覽次數(shù)：489
PR-ZP系列多通道質量流量供氣系統(tǒng)
PR-ZP系列是一款低成本的流量計控制系統(tǒng)，其質量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜可以與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時，可將管式爐置于移動柜上上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設定和狀態(tài)顯示都集中在一個7″的LCD觸摸屏上，便于操控的同時，可實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設備廣泛應用于材料接種CVD實驗和各種材料的退火實驗.
技術資料
相關產品
設備特點：
適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多重氣體的切換使用，而不會造成大氣進入加熱管
氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便
采用觸摸屏來控制氣體的流量，顯示流量準確，方便操作
所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸
產品 | 二通道 | 三通道 | 四通道 |
工作溫度 | 5-45℃ | 5-45℃ | 5-45℃ |
壓差范圍 | 0.05-0.4MPa | 0.05-0.4MPa | 0.05-0.4MPa |
精度 | ±1% FS | ±1% FS | ±1% FS |
重復精度 | ±0.2% FS | ±0.2% FS | ±0.2% FS |
流量范圍 | 50、100、200、500Sccm可供客戶選擇 | ||
流量計類型 | 進口質量流量器 | ||
接口尺寸 | Φ6.35mm雙卡套接頭 | ||
連接管道 | 采用潔凈拋光的氣路專用耐腐不銹鋼管或耐腐蝕抗老化的聚四氟乙烯氣管（可選） | ||
外形尺寸 | 700*700*645mm | ||
凈重 | 約35KG | ||
