500℃ 135*135mm 手動真空平板熱壓機PR-VHP-135
PR-VHP-135是一款手動真空平板式真空熱壓機,針對于晶片的焊接或薄膜轉移,其可處理最大樣品尺寸為135mm*135mm。儀器最高工作溫度為500℃,在此溫度下可對樣品施加的最大壓力為40T
技術資料
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基本參數 | · 電源:AC220V , 50Hz ,總功率:約2.4KW · 兩塊135mm *135mm加熱平臺,采用耐熱模具鋼制成,最高可承受溫度為500℃ · 加熱管布置在上下加熱平臺的內部,以達到快速加熱的效果 · 兩個精密的溫控器獨立控制兩塊加熱平臺,可設置30段升降溫程序 |
上下加熱平臺和真空腔體 | · 上下加熱平臺都安裝在真空腔體內,上下加熱平臺尺寸:135*135mm · 上下加熱板平面度<0.03mm(在有效面積120mm*120mm范圍內) · 真空腔體采用304不銹鋼制作,并焊接有加強筋(防止真空狀態下腔體變形),真空度可以達到10-1Pa。 · 內部腔體尺寸為:614mm(L) *574mm(W) *514mm(H) · 可放入樣品最大尺寸:長*寬*高=150*150*30mm · 真空腔體前端有一直徑為φ150mm的觀察窗口 · 一個機械壓力表安裝在真空腔體上,用于觀察腔室內真空度。預留的KF16接口可選擇安裝數顯真空計 · 腔體左側面板含有兩個φ12的水管接頭,用于連接水冷設備,一個φ6.35的卡套接頭作為進氣口使用,并通過一個球閥控制 進氣的通斷 · 腔體背面有兩個φ8mm寶塔氣嘴的出氣口,并分別通過一個球閥控制出氣的通斷 · 腔體右側面有一個KF25和一個KF40的抽真空接口,方便客戶匹配各種型號的真空系統 |
溫控系統 | · 兩個精密的溫控系統可設置30段升降溫程序,控溫精度為±1℃,500度恒溫時的溫度波動±10℃,,分別獨立控制 兩個加熱平臺。 · 溫控系統采用PID方式進行溫度調節,并帶有過熱和斷偶保護。 · 最高工作溫度為:500℃(<30 min) · 最快升溫速率: 5℃/min · 軟件和PC接口安裝在控溫儀表上,可將溫度程序和溫度曲線導入到電腦中(另購)。 |
壓力控制系統 | ·最大壓力:40T ·加壓方式:手動加壓 ·油缸直徑為 Φ80 mm; ·油缸行程為 0-50 mm; |
水冷板系統 | ·兩個水冷板分別設置在上下加熱板上,在真空腔體內部采用不銹鋼軟管進行連接,腔體外部采用透明PVC水管連接水冷機。 |
真空系統 | 可根據客戶實驗要求選配機械泵或分子泵組 |
水冷設備(選配) | · 型號:CW-5000 · 工作電壓:AC 220V 50HZ · 工作電流:1.4-2.1A,制冷量:2361Btu/h · 壓縮機功率:300W,水箱容量:6L · 最大流量:16L/min,凈重:24 Kg · 外形尺寸:550*280*430mm |
外形尺寸 | ·700mm(L) x800mm(W) x 1640mm(H) |
重量 | ·約510Kg |
質保 | · 一年質保期,終生維護 · 特別提示:耗材部分如加熱元件、石英窗口等不包含在內因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內 |