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1200℃小型流化床CVD爐（帶1英寸外徑石英管和法蘭，用于粉末CVD） OP-1200-LTS-FB
OP-1200-LTS-FB是一款流化床立式管式爐，專門針對粉末表面沉積的CVD實驗，爐管為高純石英管，爐管內部嵌有一多孔石英板，石英板的孔徑可訂制范圍為5-500um.粉末可放在多孔石英板上，氣體可從爐管下端通入，通過多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區域，進行沉積實驗。
技術資料
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| 特點 | ? 采用雙層殼體結構并帶有風冷系統 ? 爐體設計為開啟式，以方便與更換爐管 ? 設有石英管防護罩，放置石英管碎裂造成人員傷害 ? 設有機械安全泄壓閥，放置石英濾板堵塞造成壓力過高造成人員傷害 ? 采用高純氧化鋁作為爐膛材料，爐膛表面涂有美國進口高溫氧化鋁涂層可以提高加熱效率和爐膛使用壽命 ? 專門針對粉末表面沉積的CVD實驗 | |
| 基本參數 | ? 設備功率：220V 1.2KW ? 爐膛材質：高純氧化鋁纖維材料 ? 加熱元件：HRE高溫合金絲 ? 可達溫度：1200℃（<1小時） ? 連續溫度：1150℃（連續） ? 溫度精度：±1℃ ? 熱電偶:K型熱電偶 ? 可達加熱速率：≤20℃/分鐘 ? 爐膛尺寸：80mm*200 ? 加熱區長度：200mm ? 恒溫區長度：100mm | |
| 爐管尺寸 | ?爐管尺寸：Φ25mm*600mm ? 爐管材料:采用高純特質石英爐管 ? 多孔石英板孔徑：4-550μm多種規格可定制 | |
| 不銹鋼密封系統 | 標配一套雙硅膠密封圈密封不銹鋼密封法蘭總成,設有安全機械泄壓閥及石英管防護罩。 | |
| 真空度 | 采用機械泵組可達到5*10-1Pa（選配），采用分子泵組可達到5*10-3Pa（選配） | |
| 控制系統 | 可預存15條溫度曲線，避免不同的實驗工藝重復設置帶來的麻煩； | |
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嵌入式操作系統中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機對話模式，實驗過程更加直觀，操作更加便捷； | ||
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非線性式樣溫度修正； | ||
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具有預約啟動功能（選配功能） | ||
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| 系統保護 | 具有超溫報警、斷偶提示、漏電保護等功能。 | |
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| 外形尺寸 | 510*430*1000mm | |
| 凈重 | 約35KG | |
| 質保 | 一年保修，終身技術支持。 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，熱電偶，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 | |
